更新时间:2024-11-05
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厂商性质:生产厂家
广树CVD化学气相沉积碳镀膜机详细资料:主要用途适用于模压非球面光学玻璃镜片的碳镀膜工艺; 适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长;可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 医疗卫生,电子,交通 |
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显示精度 | 0.1℃ | 升降系统 | 两套伺服升降系统平台 |
控制系统 | 智能程序化PLC控制系统 | 最高温度 | 700℃ |
广树CVD化学气相沉积碳镀膜机特点:
采用多层隔板设计,批量处理模压光学镜片的碳镀膜工艺,每炉可放数千个镜片;
智能化PLC程序升温程序,真空程序,CVD进气程序,操作简单方便;
优质干式真空泵,杜绝油液污染,可选择国产干式泵和进口干式泵;
智能化CVD进气控制系统,适应于氮气、乙炔/甲烷、氩气、空气的通入和混合;
*的密封系统,泄漏率低,长期使用稳定性高;
广树CVD化学气相沉积碳镀膜机详细资料:
主要用途
适用于模压非球面光学玻璃镜片的碳镀膜工艺;
适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长;
可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;
产品技术参数
产品型号:GS-30-700广树
最高温度: 700℃;
使用气氛: 氮气、氩气、空气、二氧化碳、乙炔、甲烷、合气体;
长期使用:400-700℃;
波 动 度: ±1℃;
显示精度: 0.1℃;
均 匀 度: 容积30L;
进气流量:三路MFC质量流量计控制,一路浮子流量计控制;
升降系统: 两套伺服升降系统平台;
控制系统:智能程序化PLC控制系统;
真空泵真空度: 极限真空1Pa;
腔内真空度:≤10Pa;
降温要求:外置冷却风机,降温阶段强制降温;
整机功率: 18KW;
电 源 : 380V, 50Hz;
水冷装置:优质水冷机,PLC联机控制
保护装置: 过载、过流、过压保护,接地,热电偶异常报警,第二回路超温报警保护装置;冷却水温保护,压
力过载保护;
技术服务: 提供设备使用过程中的技术咨询和支持,接到客户故障通知3个工作时内立即响应。
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