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高温化学气相沉积碳镀膜机

更新时间:2021-10-23

访问次数:70

厂商性质:生产厂家

简要描述:

高温化学气相沉积碳镀膜机详细资料:
主要用途
适用于模压非球面光学玻璃镜片的碳镀膜工艺;
适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长;
可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;

高温化学气相沉积碳镀膜机特点:


采用隔板设计批量处理模压光学镜片的碳镀膜工艺,每炉可放数千个镜片


智能化PLC程序升温程序,真空程序,CVD进气程序,操作简单方便


优质干式真空泵,杜绝油液污染,可选择国产干式泵和进口干式泵


智能化CVD进气控制系统,适应于氮气、乙炔/甲烷、氩气、空气的通入和混合


先进的密封系统,泄漏率低,长期使用稳定性高;


高温化学气相沉积碳镀膜机详细资料


主要用途


适用于模压非球面光学玻璃镜片碳镀膜工艺


适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长


可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;


产品技术参数


产品型号:GS-30-700广树      


最高温度 700℃;


使用气氛: 氮气、氩气、空气、二氧化碳、乙炔、甲烷、合气体


长期使用:400-700℃;


动 度: ±1℃;


显示精度: 0.1℃;


匀 度: 容积30L


进气流量:三路MFC质量流量计控制,一路浮子流量计控制;


升降系统 两套伺服升降系统平台


控制系统:智能程序化PLC控制系统;


真空泵真空度 极限真空1Pa


腔内真空度≤10Pa


降温要求:外置冷却风机,降温阶段强制降温;


整机功率: 18KW;


: 380V, 50Hz;


水冷装置:优质水冷机,PLC联机控制


保护装置: 过载、过流、过压保护,接地,热电偶异常报警,第二回路超温报警保护装置;冷却水温保护,压


力过载保护;


技术服务: 提供设备使用过程中的技术咨询和支持,接到客户故障通知3个工作时内立即响应。




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上海广树机电有限公司

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